氦检漏怎么才能规避真空泵油造成的污染

1、由于工作人员操作失误所导致的真空泵油污染。因为公司不一定只会使用一个牌子的真空泵，会有很多真空泵，所使用的真空泵油也不尽相同。工作人员在添加真空泵油的时候，把不同的真空泵油混合使用，这个会导致原先真空泵油和新加入的真空泵油发生不良反应，使得真空泵油受到污染。

2、新油旧油混合使用，导致污染。旧油在长期的使用过程中，会因为杂质造成污染，如果这个时候没有将真空泵里的旧油清理干净，直接加入新油，就会导致新油也收到污染。

3、新买的真空泵或真空泵维修后，没有按照用规定的油清洗真空泵内部，导致真空泵油受到污染。

氦检漏的较小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

1、较佳工作条件。

指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；

3、较小可检。

指其信号是本底噪声的两倍；

4、漏孔的漏率。

指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。